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alicat氣體質量流量控制器測量出現偏差該怎么處理?
發布時間:2020-06-23   點擊次數:454次
  alicat氣體質量流量控制器的特點是無需預熱和立即啟動,因此質量流量控制器可以在短短一秒鐘內開始控制真空鍍膜工藝系統的流量,測量并顯示質量流量,體積流量,壓力和溫度參數。實時,并用溫度和壓力充分補充流量參數。氣體模塊程序直接顯示在質量流量控制器提供的屏幕上,并且可以通過操作屏幕按鈕直接切換氣體類型。它可用于氣體流量測量和過程控制。它可以在所有領域代替孔板和差壓流量計。
 

alicat氣體質量流量控制器

  alicat氣體質量流量控制器采用熱擴散原理,該技術在惡劣條件下具有出色的性能和高可靠性。典型的傳感器由兩個熱阻組成,一個是速度傳感器,另一個是溫度傳感器,可自動補償氣體溫度變化。當將兩個RTDS放置在介質中時,速度傳感器被加熱到??高于環境溫度的恒定溫度,另一個溫度傳感器用于檢測介質溫度。流過速度傳感器的氣體質量是通過傳感器元件的熱傳遞來計算的。隨著氣體速度的增加,介質帶走的熱量增加。降低傳感器的溫度。為了保持溫度恒定,必須增加通過質量流量控制器的工作電流,并且增加的電流部分與介質的流量成比例。使用中會出現流量偏差是非常嚴重的事情,因此我們需要及時解決偏差問題。
  1,0點是否有漂移
  首先,連接電源。當質量流量控制器信號為0時,用萬用表測量功率控制器的輸出信號值和反饋信號。
  2,氣體是否純凈
  如果道路上有污染,流量肯定會受到影響。此時,高純度N2可以用于清潔多次。如果仍然無法解決,則需要找到專業的維修中心來接受A/S;
  3,前壓力是否達到標定壓力
  如果alicat氣體質量流量控制器的壓力不夠,將無法達到校準范圍。
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